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光学フィルター
光学フィルター
Filmetricsの光学フィルターは、測定精度を向上させるためにスペクトルを平坦化したり、感光性のある膜を測定する際に、感光波長である短波長の光をカットするために使用されます。これらの光学フィルターは、光源からの光を平坦化し、光量の調整をするため、当社のほとんどの膜厚測定システム用にオーダーメイドされています。光学フィルターの測定には、当社のF10-RT反射・透過・膜厚測定システムが最適です。
FILTER-FLAT+ND0.5 光学フィルター
VISスペクトルの均一性を向上させる平坦化フィルターと、光量を30%に低減するND 0.5フィルターが搭載されています。
FILTER-FLAT+ND1 光学フィルター
VISスペクトルの均一性を向上させる平坦化フィルターと、90%光量を低減するND 1フィルタの組み合わせ。
FILTER-FLAT+ND2 光学フィルター
VISスペクトルの均一性を向上させる平坦化フィルタと、99%光量を低減するND 2フィルターの組み合わせ。
FILTER-HighPass420 光学フィルター
420nmハイパスフィルター。
FILTER-HighPass515 光学フィルター
515nmハイパスフィルター。
FILTER-HighPass520+ND1 光学フィルター
520nmハイパスフィルタとND 1フィルタの組み合わせ。
FILTER-HighPass520+ND2 光学フィルター
520nmハイパスフィルタとND 2フィルタの組み合わせ。
FILTER-HighPass550 光学フィルター
550nmハイパスフィルター。
FILTER-HighPass550+ND1 光学フィルター
550nmハイパスフィルターとND 1フィルタの組み合わせ。