製品説明

Filmetrics Profilm3DおよびFilmetrics Profilm3D-200は、サブナノレベルの分解能で高精度な表面形状測定を行います。これらのシステムは、垂直走査白色干渉法と位相シフト干渉法の両方に対応しています。 位相シフト干渉法（PSI）と垂直走査白色干渉法（WLI）と組み合わせることにより、大きなZ方向の変化があってもPSIによる表面の測定が可能です。Profilm3Dは、TotalFocus^®テクノロジーを適用し、全ピクセルにフォーカスを合わせた美しい自然な３Dカラー画像を生成します。最新のProfilm3D 白色干渉式表面形状測定システムは、より粗い表面やより大きな傾斜、より低反射の表面を測定するために「高精度粗さイメージング（Enhanced Roughness Imaging）」機能を搭載しています。

Profilm3Dの測定技術では、垂直分解能が対物レンズの開口数（NA）に依存しないため、広い視野でも高いZ分解能で測定が可能です。 複数の視野をつなぎ合わせるスティッチング機能で、測定エリアをさらに拡大できます。 Profilm3D光学式表面形状測定システムは、シンプルで革新的なユーザーインターフェイスと自動化機能を備え、研究開発から生産現場まで幅広い分野をサポートします。

特徴

• 垂直走査白色干渉法および位相シフト干渉法により、ナノメートルからミリメートルまでの表面形状を測定
• TotalFocus 3Dイメージングにより、全測定範囲で各ピクセルに焦点を最適化し 実際のサンプル色を再現
• トゥルーカラー画像は、実際のサンプル色を再現し、微細な特徴や埋もれた構造の可視化を強化します。
• 粗さ強化モード（ERM）は、レンズなどの傾斜面でフリンジコントラストを高め、形状の再現性を向上させるとともに、粗い表面からの信号も改善します。
• 業界トップクラスの長い移動範囲のピエゾを備えたオートフォーカスにより、高低差の大きい複数の表面をスキャンできます。
• 長い移動範囲を備えた自動X-Yステージは、マッピングやスキャンのステッチングに適しています。

アプリケーション

• 段差：ナノメートルからミリメートルまでの3D段差測定
• テクスチャと形状：3D粗さ、うねり、湾曲、形状
• テクスチャ評価
• エッジロールオフ：3Dエッジプロファイルの測定
• 欠陥評価：3D欠陥表面形状の取得と欠陥の特性評価
• 高解像度スキャン：広範囲の透明膜表面の高解像度スキャン
• 粗さ・低反射・スクラッチの評価

業界

• 大学、研究所、研究機関
• シリコンおよび化合物半導体
• 精密光学および精密機構
• 医療機器
• LED：発光ダイオード
• パワーデバイス
• MEMS：マイクロエレクトロメカニカルシステム
• データストレージ
• 自動車
• その他：ご要望がございましたらお問い合わせください