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Filmetrics®分光反射率シミュレーション

下に膜情報を入力すると、薄膜干渉による反射率を計算します。 200nm~2000nmの波長域における反射率を計算できます。最大20層の膜情報を入力できます。当社の分光反射率計算は、フレネル方程式の複素行列形式に基づく計算エンジンを採用しており、これは当社の膜厚測定システムの計算方法と同じです。

計算するデータ:
nm nm nm
偏光:
計算中...
層数 材料の種類 膜厚
基板

波長632.8nmにおける材料の屈折率を入力してください。入力した屈折率に近い材料の平均的な分散を考慮して、各波長に対する値を自動的に追加します。

KLAのFilmetrics膜厚測定システムの製品ラインナップをぜひご覧ください

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