Filmetrics®分光反射率シミュレーション
下に膜情報を入力すると、薄膜干渉による反射率を計算します。 200nm~2000nmの波長域における反射率を計算できます。最大20層の膜情報を入力できます。当社の分光反射率計算は、フレネル方程式の複素行列形式に基づく計算エンジンを採用しており、これは当社の膜厚測定システムの計算方法と同じです。
| 層数 | 材料の種類 | 膜厚 |
|---|---|---|
|
|
||
下に膜情報を入力すると、薄膜干渉による反射率を計算します。 200nm~2000nmの波長域における反射率を計算できます。最大20層の膜情報を入力できます。当社の分光反射率計算は、フレネル方程式の複素行列形式に基づく計算エンジンを採用しており、これは当社の膜厚測定システムの計算方法と同じです。
| 層数 | 材料の種類 | 膜厚 |
|---|---|---|
|
|
||
If you are a current KLA Employee, please apply through the KLA Intranet on My Access.