晶圆制造

KLA 在晶圆制造中的产品组合包括缺陷检测和复检、量测、数据管理和原位制程监控系统，以协助制造商在晶圆制造过程中实施质量管理。 KLA 在晶圆制造中的设备支持全品类衬底规格的工艺开发、生产监控和最终质量检查，包括硅、主档硅、绝缘体上硅、蓝宝石、玻璃、砷化镓、碳化硅、氮化镓、磷化铟、锑化镓、锗、钽酸锂₃、铌酸锂₃和外延晶圆。晶圆制造商借助 KLA 的系列产品加速开发并缩短产品上线周期，成功生产高质晶圆，提升晶圆制造工艺的整体盈利能力。