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チャックアセンブリ
チャックアセンブリ
チャックアセンブリは、膜厚マッピングシステムに不可欠なコンポーネントです。これにより、安定した精度でウェーハを測定できるよう、安全に固定できます。Filmetrics®のチャックアセンブリは、さまざまなサイズのウェーハに対応するように設計されています。チャックアセンブリは、2"、3"、4"、5"、6"、200mm、300mm、450mmウェーハ用に対応しています。F50、F54、F60チャックは、使いやすさに加え、様々なウェーハサイズに対応するよう作られています。
F50Chuck-100mm
2"、3"、および4"ウェーハ用のF50チャックアセンブリ。
F50Chuck-200mm
4"、5"、6"、および200mmウェーハ用のF50チャックアセンブリ。
F50Chuck-300mm
4"、5"、6"、200mm、および300mmウェーハ用のF50チャックアセンブリ。
F50Chuck-450mm
4"、5"、6"、200mm、300mm、450mmウェーハ用のF50チャックアセンブリ。
F50Chuck-Custom
F50向けのカスタムチャックは、通常4週間以内に提供されます。
F60Chuck-200mm
4"、5"、6"、および200mmウェーハ用のF60チャックアセンブリ。
F60Chuck-300mm
4"、5"、6"、200mm、および300mmウェーハ用のF60チャックアセンブリ。