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Chuck 어셈블리
Chuck 어셈블리
Chuck 어셈블리는 박막 두께 매핑 시스템에 없어서는 안 될 필수 구성 요소로서, 일관된 정확도로 웨이퍼를 측정할 수 있는 안정적이고 안전한 환경을 제공합니다. Filmetrics®의 Chuck 어셈블리는 다양한 크기의 웨이퍼를 수용할 수 있도록 설계되어 있으며, 2인치, 3인치, 4인치, 5인치, 6인치, 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼에 맞게 제작되었습니다. F50, F54 및 F60 Chuck은 웨이퍼 크기 측면에서 높은 수준의 유연성을 갖추고 있어 사용 편의성을 더욱 향상시켰습니다.
F50Chuck-100mm
2", 3" 및 4" 웨이퍼용 F50 chuck 어셈블리.
F50Chuck-200mm
4", 5", 6" 및 200mm 웨이퍼용 F50 chuck 어셈블리.
F50Chuck-300mm
4", 5", 6", 200mm 및 300mm 웨이퍼용 F50 chuck 어셈블리.
F50Chuck-450mm
4", 5", 6", 200mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼용 F50 chuck 어셈블리.
F50Chuck-맞춤형
F50용 chuck을 맞춤 주문할 수 있으며, 보통 4주 가량이 소요됩니다.
F60Chuck-200mm
4", 5", 6" 및 200mm 웨이퍼용 F60 스테이지 어셈블리.
F60Chuck-300mm
4", 5", 6", 200mm 및 300mm 웨이퍼용 F60 chuck 어셈블리.