段差標準サンプル

KLA Instrumentsは、光学式プロファイラでの使用を目的とした段差標準サンプルを提供しています。段差標準サンプルにより、時間を経ても正確で信頼性の高い測定結果が得られます。Filmetrics^®の三次元表面形状測定システムには、このクロムコーティングされた10µｍの段差標準厚サンプルが付属しています。他にも、4µm, 2µm, 100nmのマルチ段差標準サンプルも提供が可能です。