膜厚標準サンプル
膜厚標準サンプル
KLA Instrumentsでは、膜厚測定システムの検査および動作確認に最適な、様々なタイプの膜厚サンプルを取り揃えています。KLA Instrumentsの膜厚サンプルは業界最高水準の規格を満たしており、NISTトレーサブルの膜厚標準サンプルも提供可能です。必要な膜厚サンプルが見つからない場合は、お気軽にお問い合わせください。KLA Instrumentsのエンジニアより、お客様のニーズに最適な膜厚サンプルをご提案いたします。
TS-Focus-SiO2-4-3100 膜厚サンプル
フォーカス用のパターンエリア付きSiO2-on-Si 膜厚サンプル、膜厚約3100Å、4インチウェーハ。
TS-Focus-SiO2-4-10000 膜厚サンプル
フォーカス用のパターンエリア付きSiO2-on-Si 膜厚サンプル、膜厚約10000Å、4インチウェーハ。
TS-FusedSilica-.125mm 厚さサンプル
約0.125mm厚のフューズドシリカ。
TS-Hardcoat-4µm 膜厚サンプル
アクリル上のハードコート 膜厚サンプル、膜厚約4μm厚、直径2インチ。
TS-Hardcoat-Trans 膜厚サンプル
透過率測定用の裏面が透明なハードコート膜厚サンプル。
TS-Parylene-8µm 膜厚サンプル
Si上のパリレン 膜厚サンプル、膜厚約8μm、23mm x 23mm。
TS-Si-2-250µm 厚さサンプル
Siサンプル、厚さ約250μm、2インチウェーハ。
TS-SiO2-4-7200 膜厚サンプル
SiO2-on-Si 膜厚サンプル、膜厚約7200Å、4インチウェーハ。
TS-SiO2-4-7200-NIST 膜厚サンプル
NISTトレーサブルのTS-SiO2-4-7200。
TS-SiO2-6-Multi 膜厚サンプル
SiO2-on-Si ６水準 マルチ膜厚サンプル 膜厚：約125Å、約250Å、約500Å、約1000Å、約5000Å、約10000Å（実際の厚さは公称値の±10%、精度は2Å以内）、6インチウェーハ。
TS-SS3-SiO2-2000 膜厚サンプル
SiO2-on-Si 膜厚サンプル、膜厚約2000Å、SS-3ステージ用。
TS-SS3-SiO2-8000 膜厚サンプル
SiO2-on-Si 膜厚サンプル、膜厚約8000Å、SS-3ステージ用。
TS-SS3-SiO2-16000 膜厚サンプル
SiO2-on-Si 膜厚サンプル、膜厚約16000Å、SS-3ステージ用。
TS-SiO2-2500nm-High-n-Glass 膜厚サンプル
SiO22-on-High-n-Glass 膜厚サンプル、膜厚約2500nm、直径2インチ
TS-SiO2-8000nm-High-n-Glass 膜厚サンプル
SiO2-on-High-n-Glass 膜厚サンプル、膜厚約8000nm、直径2インチ