半導体：アモルファスシリコン（a-Si）および多結晶シリコンの測定

Filmetrics F20を使用すれば、アモルファスシリコンおよび多結晶シリコンの光学定数（nおよびk）を測定できます。このシステムには、マウスを1回クリックするだけで、基板の厚さ、シリコン層の厚さ、および層間のSiO₂の厚さ等を測定・表示する高度な測定機能が搭載されています。 また、Siウェーハの厚さなどのサンプル測定をお試しいただけます。結果は通常、数日程度でご連絡します。

半導体：誘電体膜の特性評価

誘電体膜を正確に測定することは、エレクトロニクス業界にとって極めて重要です。 Filmetrics測定システムで測定されている最も一般的な誘電体の測定値は次のとおりです。

二酸化シリコンの厚さ：SiO₂膜の膜厚は、Filmetricsシステムにより、3nmから1mmの範囲で測定可能です。

窒化シリコン（Si₃N₄）の屈折率：膜厚と併せて窒化シリコンの屈折率を測定することで、Si₃N₄膜の特性評価が数秒で可能です。 誘電体の測定用途につきましは、弊社にお問い合わせ下さい。また、是非サンプル測定をお試し下さい。

ディスプレイ：ITO膜の膜厚

屈折率の正確な測定値を用いて、酸化インジウム錫（ITO）およびその他の透明導電性酸化物（TCO）の膜厚を測定します。 Filmetricsのシステムでは、ポリイミド、ハードコート、液晶、OLED層、発光層、注入層、バッファ層、カプセル化層を含む液晶層を測定できます。

バイオメディカルコーティングの厚さ測定

Filmetricsのシステムを用いて、カテーテルや血管形成術バルーン、ステント、ガイドワイヤー、針、その他インプラントなど、バイオメディカルアプリケーション用のコーティングの厚さをワンクリックで測定できます。多くの場合、これらのデバイスには腐食から保護するバイオメディカルコーティングが施されていますが、その他にも組織外傷、感染、拒絶反応などの合併症から守るためのコーティングが施されているものもあります。 ドラッグデリバリー用コーティングの厚さ測定も一般的なアプリケーションです。 Filmetricsのシステムは、非破壊的でサンプル準備を必要とせず、素早く信頼性の高い厚さ測定を提供します。

ディスプレイ：OLED 計測

有機発光ダイオード（OLED）は、携帯電話やテレビを含む多くのディスプレイデバイスに使用されています。 OLEDディスプレイを構成する多数の薄膜の厚さは非常に重要であり、OLEDの厚さを効果的に測定するには、非接触測定システムが必要です。 当社のF20-UV、F40-UV膜厚測定システム、およびF10-RT-UV反射透過膜厚測定システムでは、シンプルなプロトタイプのデバイスやフルピクセルディスプレイの安価で堅牢な非接触測定が行えます。 当社の測定装置は分光測定システムであるため、空気に敏感な材料で発生する化学的な変化を検出することもできます。 また、OLEDフィルムサンプルの厚さ測定もお試し頂けます。

半導体：フォトレジスト膜厚測定

Filmetrics F20、Filmetrics F3-sX、Filmetrics F50/F60-tなどの卓上のシングルスポット測定システムおよび自動マッピング膜厚測定システムは、単層、多層、さらには自立型レジストフィルムの厚さや、エッチングレートを測定します。 Filmetricsのすべてのモデルは、分光反射率を正確にモデリングすることで、レジストの厚さ（および屈折率）を測定します。 独自の特殊アルゴリズムにより、堅牢な「ワンクリック」解析が可能で、通常は1秒未満で結果が得られます。 SU-8、Dow BCB、その他の厚膜フォトレジストの測定は、Filmetricsのラインナップで人気のアプリケーションです。

多孔質シリコン薄膜測定

多孔質シリコンは、光学デバイス、ガスセンサー、生物医学デバイスなど、さまざまな用途で広く使用されています。

多孔質薄膜の測定には、層厚と空隙率が含まれます。 一般的に、質量測定などの非破壊的方法を使用して空隙率を測定しますが、この方法の精度は非常に低いです。 F20、F40、F50などのFilmetrics^®の測定システムでは、マウスを1回クリックするだけで、多孔質シリコンの層厚、指数、空隙率を明らかにする独自の分析アルゴリズムを提供します。

半導体プロセスフィルムの測定

Filmetrics^®は、非金属半導体プロセスフィルムの厚さと屈折率を測定するための幅広い機器とシステムを提供しています。

数多くご使用頂いているFilmetrics F20膜厚測定システムは、膜厚と光学定数のシングルスポット測定に最適で、かつ最もお手頃な価格のソリューションです。

Filmetrics F40顕微鏡式膜厚測定システムは、小さいスポットサイズ（最小1ミクロン）の膜厚測定用で、顕微鏡に取り付けて使用します。

Filmetrics F50自動マッピング膜厚測定システムは、膜厚を正確に測定し、ブランケットフィルムの膜厚を多点で自動的にマッピングします。

小さなスポット径とパターン認識を必要とする製品ウェーハの測定の場合、例外としてFilmetrics F54-XYが選択肢となります。

当社の特許取得済みのイメージング技術により、従来の薄膜計測ツールよりもセットアップが容易になり、レシピが少なくなり、パターン認識が堅牢になり、コストが大幅に削減されます。 スタンドアロンバージョンとインテグレーテッドバージョンの両方が提供されています。

シリコンウェーハおよび膜厚の測定

Filmetrics^®のシステムには、シリコンウェーハの厚さ測定および膜厚測定用に、卓上型、マッピング型、生産用システムがあります。一般的によく測定されるウェーハ材料には、単一研磨または二重研磨Si（シリコン）、サファイア、溶融シリカ、SiC、LiTaO₃、GaN、ガラスが含まれます。

当社の技術者が、様々な膜厚測定範囲のニーズや、シングルスポット測定かマッピングの要件など、お客様のニーズに合った最適なFilmetricsシステムを見つけるお手伝いをいたします。

太陽電池測定

Filmetrics^®F20 膜厚測定システムは、3種類全ての太陽電池活性層の膜厚と光学定数を測定するために、数十社の薄膜太陽電池（TFPV）メーカーで使用されています。 Filmetricsの専門家は、TCOの上にある太陽電池の活性層を測定するために、インハウスおよびガラス供給業者の単層または多層TCO層の特性評価に豊富な経験を有しています。

また、ポリイミド、反射防止コーティング、フォトレジストを含むフィルムの測定には、卓上型、マッピング型、またはインライン型のソリューションも提供しています。

半導体製造教育用ラボ

Filmetrics F20膜厚測定システムは、世界中の教育ラボで使用されており、工学部の学生に分光反射率の原理を教えています。教育ラボで使用される場合、大学向けの特別価格のシステムを提供しています。

見積もりを取得

ウェブ膜厚測定およびポリマー膜厚測定

プラスチックおよびポリマーの製造では、プラスチックフィルムの厚さとポリマー膜の厚さが品質にとって重要なポイントがいくつかあります。 これらには、全膜厚（最大1mm）、共押出しサブレイヤー厚、およびウェブ厚測定が含まれます。 PETコーティングの場合、F20-UVを使用して膜厚を測定できます。 非常に薄い層（〜10nm）や高エネルギープラズマ表面処理も測定できます。 標準のF20システムでは、厚さ0.05～50μmのハードコートなど、一般的なコーティングの測定が可能です。

当社は、PET、ポリカーボネート、セルロース系、ポリオレフィンなどの各種ポリマーフィルムに加え、導電性ポリマーなどの特殊材料も含む、広範囲に渡る屈折率データベースを保有しています。

これらのアプリケーションにはそれぞれ特有の課題がありますが、当社は適切なウェブ厚およびポリマー膜厚測定ソリューションを提供するためのソフトウェア、ハードウェア、そしてアプリケーションに関する豊富な知見を有しています。