Halbleiter: Schichtdickenmessung für amorphes Silizium (a-Si) und polykristallines Silizium

Messen Sie die optischen Konstanten (n und k) sowohl von amorphem als auch von Polysilizium mit dem Filmetrics F20. Das Tool umfasst ausgeklügelte Messroutinen, die gleichzeitig die Substratdicke, die Siliziumschichtdicke sowie die SiO₂-Zwischenschichtdicke messen und melden – alles mit einem einzigen Mausklick. Wir bieten außerdem kostenlose Testmessungen von Si-Wafern an. Die Ergebnisse liegen normalerweise innerhalb von 1 bis 2 Tagen vor.

Halbleiter: Messung dielektrischer Eigenschaften

Die genaue Messung dielektrischer Filme ist für die Elektronikindustrie von entscheidender Bedeutung. Nachfolgend sind die häufigsten dielektrischen Anwendungen aufgeführt, die von einem Filmetrics-Messsystem analysiert werden können:

Siliziumdioxiddicke: Mit unseren Filmetrics-Systemen kann die Dicke von SiO₂-Filmen von 3 nm bis zu 1 mm gemessen werden.

Brechungsindex von Siliziumnitrid (Si₃N₄): Die Messung des Brechungsindex von Siliziumnitrid neben der Dicke des Films ermöglicht eine vollständige Charakterisierung Ihres Si₃N₄-Films in Sekundenschnelle. Kontaktieren Sie unsere Schichtdickenexperten, um Ihre dielektrische Anwendung zu besprechen oder fordern Sie eine kostenlose Testmessung an.

Anzeige: ITO-Filmdicke

Messen Sie die Schichtdicke von Indiumzinnoxid (ITO) und anderen transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs) mithilfe genauer Messungen des Brechungsindexes. Filmetrie-Tools können Flüssigkristallschichten messen, darunter Polyimid-, Hartlack-, Flüssigkristall- und OLED-Schichten, einschließlich der Emissions-, Injektions-, Puffer- und Verkapselungsschichten.

Dickenmessung von biomedizinischen Beschichtungen

Messen Sie die Dicke von Beschichtungen für biomedizinische Anwendungen – wie Katheter- und Angioplastieballone, Stents, Führungsdrähte, Nadeln und andere Implantate – mit einem Klick mithilfe unserer Filmetrics-Tools. Häufig sind diese Instrumente mit biomedizinischen Beschichtungen ausgestattet, die das Gerät vor Korrosion schützen, während andere vor Komplikationen wie Gewebetrauma, Infektion oder sogar Abstoßung schützen. Die Messung der Dicke von Beschichtungen zur Arzneimittelabgabe ist ebenfalls eine gängige Anwendung. Unsere Filmetrics-Geräte ermöglichen schnelle und zuverlässige Schichtdickenmessungen, die zerstörungsfrei sind und keine Probenvorbereitung erfordern.

Anzeige: OLED Metrology

Organische Leuchtdioden (OLEDs) werden in vielen Bildschirmgeräten verwendet, darunter Mobiltelefone und Fernsehgeräte. Die Metrologie der vielen dünnen Filme, aus denen OLED-Displays bestehen, ist von entscheidender Bedeutung und erfordert ein berührungsloses Messsystem, um die OLED-Dicke effektiv zu messen. Unsere F20-UV, F40-UV Schichtdickenmessgeräte und F10-RT-UV-Reflektometergeräte bieten kostengünstige, robuste und nichtinvasive Messverfahren für einfache Prototypgeräte und vollständig gepixelte Displays. Da unsere OLED-Messgeräte spektroskopisch sind, können auch chemische Veränderungen erkannt werden, die in diesen atmosphärisch empfindlichen Materialien auftreten können. Wir bieten außerdem kostenlose Testmessungen von Schichtdicken für OLED-Proben an.

Halbleiter: Messung der Dicke von Fotolacken

Mehrere Einzelpunkt-Tisch- und Mapping-Tools wie Filmetrics F20, Filmetrics F3-sX und Filmetrics F50/F60-t messen die Schichtdicke von Fotolacken und die Ätzrate von einschichtigen, mehrschichtigen und sogar freistehenden Fotolacken. Alle Filmetrics-Modelle messen die Lackdicke (und den Index) durch eine präzise Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle proprietäre Algorithmen ermöglichen eine robuste Analyse mit nur einem Klick, wobei Ergebnisse normalerweise in weniger als einer Sekunde verfügbar sind. Die Messung der Dicke von SU-8, von Dow BCB und anderen dicken Fotolacken sind eine beliebte Anwendungen für die Filmetrics-Produktlinie.

Schichtdickenmessung für poröses Silizium

wird in vielen verschiedenen Anwendungen eingesetzt, darunter optische Geräte, Gassensoren und biomedizinische Geräte.

Zu den typischen Messungen poröser Dünnschichten zählen Schichtdicke und Porosität. Im Allgemeinen werden zerstörungsfreie Methoden wie gravimetrische Messungen verwendet, um die Porosität zu messen, aber die Genauigkeit dieser Methode ist sehr gering. Filmetrics^®-Tools wie die Geräte F20, F40 und F50 bieten einen einzigartigen Analysealgorithmus, der die Schichtdicke, den Index und die Porosität von porösem Silizium mit einem einzigen Mausklick ermittelt.

Messung von Halbleiterprozessfilmen

Filmetrics^® bietet eine umfassende Palette von Instrumenten und Systemen zur Messung der Dicke und des Indexes von nichtmetallischen Halbleiterprozessfilmen.

Das universell beliebte Filmetrics F20 Schichtdickenmessgerät ist die kostengünstigste Lösung für Einzelpunktmessungen von Schichtdicke und Brechungsindex.

Das mikroskopbasierte Filmdickenmessgerät Filmetrics F40 eignet sich für Messungen kleiner Dicken (bis zu 1 Mikrometer oder weniger) und wird an Ihrem Mikroskop angeschlossen.

Der Filmetrics F50 Schichtdicken-Mapper misst die Schichtdicke genau und bildet flächendeckende Schichten automatisch Punkt für Punkt ab.

Alternativ ist das Filmetrics F54-XY für Produktwafer, die kleine Messpunktgrößen und Mustererkennung erfordern, eine hervorragende Wahl.

Unsere patentierte Schichtdickenbildtechnologie ermöglicht eine einfachere Einrichtung, weniger Rezepte, eine robustere Mustererkennung und wesentlich geringere Kosten als herkömmliche Schichtdickenmessgeräte. Sowohl eigenständige als auch integrierte Versionen sind erhältlich.

Die

Filmetrics^®-Systeme zur Messung der Siliziumscheibe und Membrandicke umfassen Tisch-, Mapping- und Produktionssysteme zur Messung der Siliziumwaferdicke und zur Messung der Membrandicke. Zu den üblicherweise gemessenen Wafermaterialien zählen einfach oder doppelt poliertes Si (Silizium), Saphir, Quarzglas, SiC, LiTaO₃, GaN und Glas.

Unsere technischen Experten können Ihnen helfen, das für Ihre Anforderungen an Schichtdickenmessung beste Filmetrics-Tool zu finden. Dazu gehören z. B. die Notwendigkeit verschiedener Schichtdickenbereiche oder eine Einzelpunktmessung im Vergleich zu einem Schichtdickenmapping usw.

Solar-photovoltaische Messungen

Filmetrics^® F20 Schichtdickenmesssysteme werden von Dutzenden von Herstellern von Dünnschichtphotovoltaiksystemen (TFPV) eingesetzt, um die Dicke und optische Konstante aller drei Arten aktiver photovoltaischer Schichten zu messen. Um photovoltaische aktive Schichten auf TCOs zu messen, verfügen die Experten von Filmetrics über umfangreiche Erfahrung bei der Charakterisierung von ein- oder mehrschichtigen TCO-Stacks sowohl im eigenen Unternehmen als auch bei Glaslieferanten.

Wir bieten auch Tisch-, Mapping- oder Inline-Lösungen für die Messung von Filmen an, die Polyimide, Antireflexionsbeschichtungen und Fotolacke enthalten.

Lehrlabore für Halbleiterfertigung

Filmetrics F20-Systeme werden weltweit in Lehrlaboren eingesetzt, um Studierenden des Ingenieurwesens die Prinzipien der spektralen Reflexion näher zu bringen. Wir bieten Universitäten spezielle Rabatte für Instrumente, die in Laborkursen verwendet werden.

Angebot anfordern

Messung der Stegbreite und der Polymerfilmdicke

Es gibt mehrere Punkte in der Kunststoff- und Polymerherstellung, an denen die Kunststoffschichtdicke und die Polymerfilmdicke entscheidend für die Qualität sind. Dazu gehören die Gesamtschichtdicke (bis zu 1 mm), die Dicke der Koextrusionsunterschicht und die Messung der Stegbreite. Bei PET-Beschichtungen kann die Schichtdickenmessung mit unserem F20-UV durchgeführt werden. Es kann sehr dünne Schichten (~ 10 nm) und sogar energetische Plasmaoberflächenbehandlungen messen. Unser Standardgerät F20 kann überall vorhandene Beschichtungen wie Hartlacke im Dickenbereich von 0,05 bis 50 µm messen.

Wir verfügen über eine umfangreiche Brechungsindexdatenbank für eine Reihe von Polymerfilme, darunter PET, Polycarbonat, Cellulose und Polyolefine sowie exotischere Materialien wie leitfähige Polymere.

Jede dieser Anwendungen stellt ihre eigene Herausforderung dar. Wir verfügen über das Software-, Hardware- und Anwendungswissen, um die richtigen Lösungen zur Messung der Bahndicke und der Polymerfilmdicke bereitzustellen.