製品説明
Filmetrics® F60-cシリーズは、製造現場向けに特化して設計された複数の機能を追加することで、F50シリーズの膜厚および屈折率マッピング機能をさらに強化しています。自動ノッチ検出機能、自動オンボード・ベースライン、インターロック筐体付きの測定ステージ、ソフトウェアがプリインストールされたFAコンピュータが含まれます。
再設計されたF60-cは、ウェーハサイズの切り替えを容易にする自動カセット toカセットシステムを搭載しており、F60-cシリーズの自動化機能をさらに向上させています。このシステムは、受け入れや出荷のプロセスツールとして使用でき、化学品サプライヤーの品質管理に最適です。
製品の特長
- 業界をリードする薄膜測定技術
- 直感的に操作できる分析ソフトウェアをすべてのシステムに標準搭載
- オンライン診断機能を内蔵
- 130種類以上の材料ライブラリをすべてのシステムに収録
- 高度な訓練を受けたアプリケーションエンジニアによる、電話・Eメール・オンラインサポート
- システムには、内蔵型分光器／光源ユニット、TS-SiO₂-8-8000膜厚標準、6インチおよび200mmウェーハ用リファレンス等が含まれています
アプリケーション
- ウェーハサイズを簡単に切り替えることができるカセットtoカセットシステムによる自動膜厚測定
- n&kのマッピング
