Produktbeschreibung
Die Filmetrics® F60-c-Serie erweitert die Schichtdicken- und Index-Mapping-Funktionen der F50-Serie um mehrere Funktionen, die speziell für Produktionsumgebungen entwickelt wurden. Dazu gehören automatische Notch-Suche, automatisches On-Board-Baselining, eine geschlossene Messstufe mit Bewegungssperre und ein Industriecomputer mit vorinstallierter Software.
Der überarbeitete F60-c verbessert die Automatisierungsfähigkeit der F60-c-Serie durch ein automatisiertes Kassette-zu-Kassette-System, das einen einfachen Wechsel zwischen Wafergrößen ermöglicht. Dieses System eignet sich ideal für die Qualifizierung eingehender und ausgehender Prozessgeräte sowie für die Qualitätskontrolle von Chemikalien.
Produktmerkmale
- Branchenführende Schichtdickenmesstechnologie
- Intuitive Analysesoftware ist Standard in jedem System
- Integrierte Diagnose-Optionen
- Bibliothek mit über 130 Materialien, die in jedem System enthalten sind
- Telefon, E-Mail und Online-Support rund um die Uhr durch hochqualifizierte Applikationsingenieure
- Das Systempaket umfasst eine integrierte Spektrometer-/Lichtquelleneinheit, einen Schichtdickenstandard TS-SiO2-8-8000, 6-Zoll- und 200-mm-Wafer-Reflexionstandard und vieles mehr!
Anwendungen
- Automatische Messung der Schichtdicke mit einem Kassette-zu-Kassette-System, das problemlos zwischen Wafergrößen wechseln kann
- Mapping von n & k
Branchen
- Halbleiter
- Verbundhalbleiter
- Stromversorungssgeräte
- MEMS und optische Elektronik
- Datenspeicherung
- 5G-Anwendung
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