4-Point 프로브
4-Point 프로브
반도체 분야에서 전기 측정 시스템은 박막 및 벌크 소재의 면저항과 비저항을 측정하고 모니터링하는 데 매우 중요한 역할을 합니다. 면저항 매핑 시스템의 경우, Filmetrics에서는 다양한 반경 및 간격을 비롯한 다양한 핀 팁 옵션을 갖춘 4-point 프로브를 제공하고 있으며, 이는 금속 측정, 주입 측정 또는 고임피던스 표면 측정과 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 당사의 4-point 프로브는 박막 및 반도체의 면저항을 안정적으로 정확하게 측정하는 방법을 제공합니다. 기판 컨디셔닝 및 스페어 4-point 프로브를 비롯한 면저항 시스템용 교체 부품은 당사 웹스토어에서 온라인으로 쉽게 주문하실 수 있습니다. 이러한 교체 액세서리는 R50 및 R54 4PP 시스템 모두에 사용할 수 있습니다. Filmetrics® 4-point 프로브를 사용하면 모든 측정을 정확하고 정밀하게 수행할 수 있습니다.
CondWafer-4PP
4점 프로브 컨디셔닝 웨이퍼 팩.
$1313.82
4PP-TypeA
간격 1mm, 팁 반경 40um, 100gm의 4PP 프로브. 금속 측정용.
$2792.39
4PP-TypeB
간격 1mm, 팁 반경 100um, 100gm의 4PP 프로브. 범용 이온 주입 공정 측정용.
$2792.39
4PP-TypeC
간격 1mm, 팁 반경 200um, 100gm의 4PP 프로브. 이온 주입 공정/고임피던스 표면 측정용.
$2792.39
4PP-TypeD
간격 1mm, 팁 반경 500um, 100gm의 4PP 프로브. 고난도 이온 주입 공정/고임피던스 표면 측정용.
$2792.39
4PP-TypeE
간격 1.6mm, 팁 반경 40um, 200gm의 4PP 프로브. 기판/벌크 측정용.
$2792.39
4PP-TypeF
간격 0.625mm, 팁 반경 40um, 100gm의 4PP 프로브. 금속 측정용.
$3503.51
4PP-TypeG
간격 0.6mm, 팁 반경 100μm, 100gm 4PP 프로브. 범용 이온 주입 공정 측정용.
$3503.51
4PP-TypeH
0.6mm 간격, 200um의 팁 반경, 100gm의 4PP 프로브. 이온 주입 공정/고임피던스 표면 측정용.
$3503.51
4PP-TypeI
간격 0.6mm, 팁 반경 500um, 100gm의 4PP 프로브. 고난도 이온 주입 공정/고임피던스 표면 측정용.
$4926.81