Skip to main content
Produktsprache:

4-Punkt-Sonden

4-Punkt-Sonden

In der Welt der Halbleiter sind elektrische Messsysteme entscheidend für die Messung und Überwachung des Schichtwiderstands und des spezifischen Widerstands von Dünnfilmen und Schüttmaterialien. Für Systeme zur Abbildung von Schichtwiderständen bieten wir 4-Punkt-Sonden mit einer Vielzahl von Spitzen Geometrien an, darunter verschiedene Radien und Abstände, die für verschiedene Anwendungen wie Messungen auf Metallen, dotierte Halbleitern oder Oberflächen mit hoher Impedanz verwendet werden können. Die von uns verwendeten 4-Punkt-Sonden bieten eine zuverlässige und genaue Möglichkeit, den Schichtwiderstand von dünnen Filmen und Halbleitern zu messen. Ersatzteile für unsere Schichtwiderstand Messsysteme, einschließlich Konditionierungsplatten und Ersatz-4-Punkt-Sonden, können problemlos online in unserem Webshop bestellt werden. Dieses Ersatzteil kann sowohl mit R50- als auch mit R54-4PP-Systemen verwendet werden. Mit Filmetrics® 4-Punkt-Sonden können Sie sicher sein, dass jede Messung genau und präzise ist.

CondWafer-4PP

Wafer-Pack zur Konditionierung von 4-Punkt-Sonden.

4PP-TypeA

4PP-Sonde mit 1 mm Abstand, 40 um Spitzenradius, 100 mg. Für Metallmessungen.

4PP-TypeB

4PP-Sonde mit 1 mm Abstand, 100 um Spitzenradius, 100 mg. Für allgemeine Ionen Implantationsmessungen.

4PP-TypeC

4PP-Sonde mit 1 mm Abstand, 200 um Spitzenradius, 100 mg. Für Oberflächenmessungen von Implantationsproben mit hoher Impedanz.

4PP-TypeD

4PP-Sonde mit 1 mm Abstand, 500 um Spitzenradius, 100 mg. Für schwierige Implantationsproben mit hoher Impedanz.

4PP-TypeE

4PP-Sonde mit 1,6 mm Abstand, 40 um Spitzenradius, 200 mg. Für Messungen auf Substraten und Bulk Materialien.

4PP-TypeF

4PP-Sonde mit 0,625 mm Abstand, 40 um Spitzenradius, 100 mg. Für Metallmessungen.

4PP-TypeG

4PP-Sonde mit 0,6 mm Abstand, 100 um Spitzenradius, 100 mg. Für allgemeine Ionen Implantationsmessungen.

4PP-TypeH

4PP-Sonde mit 0,6 mm Abstand, 200 um Spitzenradius, 100 mg. Für Oberflächenmessungen von Implantationsproben mit hoher Impedanz.

4PP-TypeI

4PP-Sonde mit 0,6 mm Abstand, 500 um Spitzenradius, 100 mg. Für schwierige Implantationsproben mit hoher Impedanz.

If you are a current KLA Employee, please apply through the KLA Intranet on My Access.

Exit