제품 설명

Filmetrics F32 첨단 분광법 시스템은 절반 너비 3U 랙 마운트 섀시에 제공되며, 추가 분광기를 사용하면 최대 4개의 다른 위치(-EXR 및 -UVX 버전의 경우 최대 2개의 위치)를 측정할 수 있습니다. F32 소프트웨어는 디지털 I/O 또는 호스트 소프트웨어를 통해 제어되어 측정을 시작/중지/재설정할 수 있습니다. 통계적 공정 제어(SPC)를 위해 측정 데이터를 호스트 소프트웨어로 자동으로 내보낼 수 있습니다.

제품 정보

• 렌즈 어셈블리 옵션으로 제공되므로 기존 생산 설비에 쉽게 통합
• 포함된 소프트웨어 및 USB 연결 기능으로 모든 Windows 플랫폼 PC에 F32를 간편하게 설치할 수 있습니다
• 100가지 이상의 소재가 사전 로드된 FILMeasure 소프트웨어를 통해 단층 및 다층 적층을 신속하게 측정
• 고도로 숙련된 애플리케이션 엔지니어의 24시간 연중무휴 전화, 이메일 또는 온라인 지원

응용분야

• 실시간으로 인라인으로 박막 두께 측정
• 증착 속도, 광학 상수 및 소재 균일성 측정

산업

• 반도체
• 화합물 반도체