製品説明
Filmetrics F54-XY-200およびF54-XY-300自動マッピング膜厚測定システムは、それぞれ最大直径200mmおよび最大直径300mmのパターン付きサンプルおよびパターンなしサンプルを測定します。 高度な分光反射率測定システムと業界をリードするFilmetricsアルゴリズムを使用して、サンプルを簡単にマッピングできます。
コンパクトなシステムで、生産アプリケーションに精密な測定位置決めが可能です。 自動のX-Y-200ステージは、指定された測定位置に自動的に移動し、秒速2ポイントで結果を表示します。 300mmウェーハの測定は、F54-XYT-300に組み込まれた追加の高性能ロータリーステージによってサポートされます。
製品の特長
- パターン付きサンプルとパターンなしサンプルの両方の測定をサポート
- 分光波長範囲は190～1700nmをカバー
- 最小スポットサイズは5μm
- オートフォーカスとパターン認識
- インターロックカバー
- ライブビデオイメージ
- 最大直径300mmのサンプルに対応
- ユーザー指定のサンプルに対応 直交座標、線形座標、極座標、カスタム座標を使用した膜厚マッピング
- 手動または自動デスキュー
- 結果の保存、再解析、トレンド表示が可能な高度な履歴機能
- オンボードのリファレンス膜厚サンプル
- 包括的な材料ライブラリと高度なモデリングアルゴリズム
- 電話、Eメール、オンラインサポート
アプリケーション
- パターン化された表面およびパターンのない表面に対するマイクロスポット測定
業界
半導体製造：
- 半導体プロセスフィルム
- 化合物半導体フィルム
- 液晶ディスプレイ（LCD）
- 光学コーティングおよび電気光学フィルム
- バイオメディカルフィルムおよび医療デバイス
- MEMS
詳細については、[業界]タブをご覧ください。
