제품 설명
Filmetrics F54-XY-200 및 F54-XY-300 자동 박막 두께 맵핑 장비는 각각 200mm 및 300mm 직경의 패턴이 있는 샘플과 패턴이 없는 샘플을 측정합니다. 샘플은 고급 분광 반사율 시스템과 업계를 선도하는 Filmetrics 알고리즘을 사용하여 쉽게 매핑됩니다.
이 컴팩트한 시스템은 생산 응용 분야에 정밀한 측정 위치 지정을 제공합니다. 전동 X-Y-200 스테이지는 자동으로 지정된 측정 위치로 이동하며, 초당 두 지점만큼 빠른 결과를 제공합니다. 300mm 웨이퍼 측정은 F54-XYT-300 구성에서 추가적인 고성능 로터리 스테이지를 통해 지원됩니다.
제품 정보
- 패턴이 있는 샘플과 패턴이 없는 샘플 모두 측정 지원
- 파장 범위 구성이 190~1700nm 지원
- 5μm의 최소 지점 크기
- 자동 초점 및 패턴 인식 기능
- 인클로저 연동
- 라이브 비디오 이미지
- 최대 300mm의 원형 샘플 수용
- 직사각형, 선형, 극좌표, 맞춤형 구성을 사용한 사용자 지정 샘플 지점 매핑
- 수동 또는 자동 왜곡 보정 기능
- 결과를 저장, 재현 및 그래프화할 수 있는 고급 히스토리 기능
- 내장된 반사율 및 두께 표준
- 포괄적인 재료 라이브러리 및 고급 모델링 알고리즘
- 24시간/주 5일 전화, 이메일 및 온라인 지원
응용분
- 패턴화된 표면과 비패턴 표면에 대한 마이크로스폿 측정
산업
반도체 제조
- 반도체 공정 박막
- 화합물 반도체 박막
- 액정 디스플레이(LCD)
- 광학 코팅 및 전기 광학 박막
- 생체의료 박막 및 의료 기기
- MEMS
추가 세부 사항은 산업 탭에서 확인할 수 있습니다.
