제품 설명
Filmetrics® F60-t 시리즈는 생산 환경을 위해 특별히 설계된 몇 가지 기능을 추가하여 F50 시리즈의 박막 두께 및 인덱스 매핑 기능을 확장합니다. 여기에는 자동 노치 찾기, 자동 온보드 베이스라인닝, 모션 연동 기능이 있는 밀폐형 측정 스테이지, 소프트웨어가 사전 설치된 산업용 컴퓨터 등이 포함됩니다.
F60-t 첨단 분광 반사율 시스템을 사용하여 박막 두께와 n&k를 빠르고 쉽게 매핑할 수 있습니다. 전동 R-theta 스테이지는 선택한 측정 지점으로 자동으로 이동하여 몇 초 내에 두께 측정 값을 제공합니다.
제품 정보
- 업계 최고의 박막 측정 기술
- 모든 시스템에 표준으로 포함되는 직관적인 분석 소프트웨어
- 온라인 진단 유틸리티 내장
- 모든 시스템에 포함된 130개 이상의 재료가 저장된 라이브러리
- 숙련된 응용 엔지니어가 제공하는 월~금 24시간 전화, 이메일, 온라인 지원
- 시스템 패키지에는 통합 분광계/광원 장치, TS-SiO2-4-7200 두께 표준, 4인치, 6인치 및 200mm 웨이퍼 반사율 표준, 두께 표준 등이 포함됩니다!
응용분야
- 자동 박막 두께 측정
- n & k 매핑
산업
반도체 제조
- 감광재, 산화물/질화물/폴리실리콘 백그라인딩
LCD
- 셀 갭, 폴리이미드
광학 코팅
- 하드 코팅 두께, 반사 방지 코팅, 필터
추가 세부 사항은 산업 탭에서 확인할 수 있습니다.
