Halbleiter: Messung der Dicke von Fotolacken

Mehrere Einzelpunkt-Tisch- und Mapping-Tools wie Filmetrics F20, Filmetrics F3-sX, Filmetrics F50 und Filmetrics F60-t messen die Dicke von Fotolacken und die Ätzrate von ein- und mehrschichtigen Fotolacken. Alle Filmetrics-Modelle messen die Fotolackdicke (und den Index) durch eine präzise Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle proprietäre Algorithmen ermöglichen eine robuste Analyse mit nur einem Klick, wobei Ergebnisse normalerweise in weniger als einer Sekunde verfügbar sind. Die Messung der Schichtdicke von SU-8, von Dow BCB und anderen dicken Fotolacken sind beliebte Anwendungen für die Filmetrics-Produktlinie.

Messung von Siliziumwafer- und Membrandicke

Die Filmetrics®-^®-Systeme umfassen Tisch-, Mapping- und Produktionssysteme zur Messung der Dicke von Siliziumscheiben und Membran. Zu den üblicherweise gemessenen Wafermaterialien zählen einfach oder doppelt poliertes Silizium, Saphir, Quarzglas, SiC, LiTaO₃, GaN und Glas.

Unsere technischen Experten können Ihnen helfen, das beste Filmetrics-Tool zu finden, das für Ihre Anforderunge für Schichtdickenmessung geeignet ist. Dazu gehören möglicherweise verschiedene Schichtdickenbereiche, Einzelpunktmessungen, Schichtdickenmapping usw.

Flüssigkristallanzeigen (LCDs)

Messen Sie Zelllücken und die Schichtdicke von Polyimiden, Indiumzinnoxid (ITO) und transparenten leitfähigen Oxidfilmen (TCO). Die umfassende Materialbibliothek von Filmetrics und die fortschrittlichen Modellierungsalgorithmen bieten die erweiterten Funktionen, die für die Messung von LCD- und OLED-Schichten erforderlich sind.

Optische Beschichtungen und elektrooptische Filme

Messen Sie die Dicke von Hartschichten, Antireflexbeschichtungen und Filtern. Mit den spektralen Reflektivität und den fortschrittlichen Modellierungsalgorithmen von Filmetrics können Sie mehr als 10 Schichten effektiv modellieren.