반도체: 비정질 실리콘(a-Si) 및 다결정 실리콘 두께 측정

Filmetrics F54를 사용하여 비정질 실리콘 및 폴리실리콘의 광학 상수(n 및 k)를 측정하십시오. 이 툴에는 마우스 클릭 한 번으로 기판 두께, 실리콘층 두께, 층 간 SiO₂ 두께를 동시에 측정 및 보고하는 정교한 측정 루틴이 포함되어 있습니다. 또한 실리콘 웨이퍼 두께 측정 값을 무료로 평가할 수 있으며, 일반적으로 1~2일 내에 결과를 확인할 수 있습니다.

반도체: 유전체 특성 측정

유전체 박막의 정확한 측정은 전자 산업에 매우 중요합니다. Filmetrics 측정 시스템으로 특성 분석이 가능한 가장 일반적인 유전체 측정 값은 다음과 같습니다.

이산화실리콘 두께: SiO₂ 박막 두께는 당사의 Filmetrics 시스템으로 3nm에서 최대 1mm 두께까지 측정할 수 있습니다.

실리콘 질화물의 굴절률 (Si₃N₄): 박막 두께와 함께 실리콘 질화물 굴절률을 측정하면 몇 초 만에 Si₃N₄ 박막의 특성을 완전히 파악할 수 있습니다. 당사의 박막 전문가에게 문의하여 귀사의 유전체 응용 분야에 대해 논의하거나 무료 평가판을 요청하십시오.

디스플레이: ITO 박막 두께

굴절률의 정확한 측정을 사용하여 인듐 주석 산화물(ITO) 및 기타 투명 전도성 산화물(TCO)의 막 두께를 측정합니다. Filmetrics 툴은 폴리이미드, 하드코트, 액정 및 OLED 층을 포함한 액정 층을 측정할 수 있습니다.

생체 의학 코팅 두께 측정

당사 Filmetrics 장비를 사용하여 카테터, 혈관성형용 풍선, 스텐트, 가이드 와이어, 주사침 및 그 외 생체 이식재 등 생체의료용 코팅의 두께를 단 한 번의 클릭으로 손쉽게 측정할 수 있습니다. 생체 의료 기기는 부식으로부터 장치를 보호하기 위한 특수 코팅을 적용하는 반면, 다른 기기는 조직 외상, 감염 또는 거부 반응 증상으로부터 보호합니다. 약물 전달 장치의 코팅 두께를 측정하는 것도 일반적인 응용 분야입니다. KLA의 Filmetrics 툴은 비파괴적이며 시편 준비가 필요하지 않은 빠르고 안정적인 두께 측정을 제공합니다.

디스플레이: OLED 계측

OLED(Organic Light Emitting Diode)는 휴대폰 및 TV를 포함한 많은 디스플레이 장치에 사용됩니다. OLED 디스플레이를 구성하는 수많은 박막을 정확하게 계측하는 것은 매우 중요하며, OLED 두께를 효과적으로 측정하기 위해서는 비접촉 측정 시스템이 필요합니다. KLA의 F54-UV 박막 두께 측정 장비는 간단한 프로토타입 장치와 완전 픽셀화 디스플레이를 견고하고 비침습적이며 비용 효율적인 방식으로 계측합니다. KLA의 OLED 측정 장비는 분광 기술이므로 대기에 민감한 물질에서 발생할 수 있는 화학적 변화도 감지할 수 있습니다. 또한 OLED 박막 시편의 두께 측정 시험을 무료로 제공합니다.

반도체: 감광재 두께 측정

F54 단일 지점 테이블탑 및 매핑 툴은 단층, 다층 및 독립형 감광재 박막의 감광재 두께와 식각 속도를 측정합니다. 모든 Filmetrics 모델은 분광 반사율을 정확하게 모델링하여 레지스트 두께(및 굴절률)를 측정합니다. 특별한 독점 알고리즘을 통해 강력한 "원 클릭" 분석을 수행할 수 있으며 일반적으로 1초 이내에 결과를 얻을 수 있습니다. SU-8 두께, Dow BCB 두께 및 기타 두꺼운 감광제의 측정은 Filmetrics 제품 계열에서 널리 사용되는 응용 분야입니다.

다공성 실리콘 박막 측정

다공성 실리콘은 광학 장치, 가스 센서, 생체 의학 장비 등 다양한 응용 분야에서 많이 사용됩니다.

업계에서 관심 있는 다공성 박막 측정에는 층 두께 및 다공성도가 포함됩니다. 일반적으로 중량계 측정과 같은 비파괴 방법을 사용하여 다공도를 측정하지만 이 방법의 정확도는 매우 낮습니다. Filmetrics^® F54는 다공성 실리콘의 층 두께, 굴절률, 기공률을 단 한 번의 클릭으로 분석할 수 있는 독자적인 무료 알고리즘을 제공합니다.

실리콘 웨이퍼 및 멤브레인 두께 측정

Filmetrics^® 시스템에는 실리콘 웨이퍼 두께 측정 및 막 두께 측정을 위한 테이블탑, 매핑 및 양산 시스템이 포함됩니다. 일반적으로 측정되는 웨이퍼 소재에는 단일 또는 이중 연마된 실리콘, 사파이어, 용융 실리카, SiC, LiTaO₃, GaN 및 유리가 포함됩니다.

당사의 기술 전문가가 다양한 두께 범위에 대한 요구 사항 또는 단일 지점 측정 대 두께 매핑 요구 사항 등 고객의 두께 측정 요구 사항에 맞는 최상의 Filmetrics 툴을 찾도록 도와드릴 수 있습니다.