Halbleiter: amorphes Silizium (a-Si) und polykristallines Silizium Schichtdickenmessung

Messen Sie die optischen Konstanten (n und k) sowohl von amorphem als auch von Polysilizium mit dem Filmetrics F54. Das Tool umfasst ausgeklügelte Messroutinen, die gleichzeitig die Substratdicke, die Siliziumschichtdicke sowie die SiO₂-Zwischenschichtdicke messen und analysieren – alles mit einem einzigen Mausklick. Wir bieten außerdem kostenlose Testmessungen von Si-Wafern an. Die Ergebnisse liegen normalerweise innerhalb von 1 bis 2 Tagen vor.

Halbleiter: Messung dielektrischer Eigenschaften

Die genaue Messung dielektrischer Filme ist für die Elektronikindustrie von entscheidender Bedeutung. Nachfolgend sind die gängigsten dielektrischen Anwendungen aufgeführt, die von einem Filmetrics-Messsystem gemessen werden:

• Siliziumdioxiddicke: Mit unseren Filmetrics-Systemen kann die Dicke von SiO₂ -Filmen von 3 nm bis zu 1 mm gemessen werden.
• Brechungsindex von Siliziumnitrid (Si₃N₄): Die Messung des Brechungsindex von Siliziumnitrid neben der Dicke des Films ermöglicht eine vollständige Charakterisierung Ihres Si₃N₄-Films in Sekundenschnelle. Kontaktieren Sie unsere Schichtdickenexperten, um Ihre dielektrische Anwendung zu besprechen oder fordern Sie eine kostenlose Testversion an.

Anzeige: ITO-Filmdicke

Messen Sie die Filmdicke von Indiumzinnoxid (ITO) und anderen transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs) mithilfe genauer Messungen des Brechungsindexes. Filmetrics-Tools können Flüssigkristallschichten messen, darunter Polyimid-, Hartlack-, Flüssigkristall- und OLED-Schichten, einschließlich der Emissions-, Injektions-, Puffer- und Verkapselungsschichten.

Messung der Dicke von Beschichtungen für biomedizinischen Produkten

Anwendungen – wie Katheter- und Angioplastieballone, Stents, Führungsdrähte, Nadeln und andere Implantate – mit einem Klick. Biomedizinische Geräte verfügen über spezielle Beschichtungen, die die Geräte vor Korrosion schützen, während andere vor Komplikationen wie Gewebetrauma, Infektion oder sogar Abstoßung schützen. Die Messung der Schichtdicke von Arzneimittelabgabegeräten ist ebenfalls eine gängige Anwendung. Unsere Filmetrics-Systeme ermöglichen schnelle und zuverlässige Schichtdickenmessungen, die zerstörungsfrei sind und keine Probenvorbereitung erfordern.

Anzeige: OLED Metrology

Organische Leuchtdioden (OLEDs) werden in vielen Anzeigegeräten verwendet, darunter Mobiltelefone und Fernsehgeräte. Die Metrologie der vielen dünnen Filme, aus denen OLED-Displays bestehen, ist von entscheidender Bedeutung und erfordert ein berührungsloses Messsystem, um die OLED-Dicke effektiv zu messen. Unser F54-UV-Schichtdickenmessgerät bietet kostengünstige, robuste und nichtinvasive Messverfahren für einfache Prototypgeräte und vollständig gepixelte Displays. Da unsere OLED-Messgeräte spektroskopisch sind, können auch chemische Veränderungen erkannt werden, die in diesen atmosphärisch empfindlichen Materialien auftreten können. Wir bieten außerdem kostenlose Testmessungen der Schichtdicke von OLED-Proben an.

Halbleiter: Messung der Dicke von Fotolacken Das

Einnzelpunkt-Tisch- und Mappingsystem F54 misst die Dicke von Fotolack und die Ätzrate von einschichtigen, mehrschichtigen und sogar freistehenden Fotolacken. Alle Filmetrics-Modelle messen die Fotolackdicke (und den Index) durch eine präzise Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle proprietäre Algorithmen ermöglichen eine robuste Analyse mit nur einem Klick, wobei Ergebnisse normalerweise in weniger als einer Sekunde verfügbar sind. Die Messung der Schichtdicke von SU-8, der Schichtdicke von Dow BCB und anderen dicken Fotolacken sind beliebte Anwendungen für die Filmetrics-Produktlinie.

Dünnschichtmessung Poröses Silizium

wird in vielen verschiedenen Anwendungen eingesetzt, darunter optische Geräte, Gassensoren und biomedizinische Geräte.

Zu den für die Industrie interessanten Messungen poröser Dünnschichten zählen Schichtdicke und Porosität. Im Allgemeinen werden zerstörungsfreie Methoden wie gravimetrische Messungen verwendet, um die Porosität zu messen, aber die Genauigkeit dieser Methode ist sehr gering. Filmetrics^® F54 bietet einen kostenlosen, einzigartigen Analysealgorithmus, der Schichtdicke, den Index und die Porosität von porösem Silizium mit einem einzigen Mausklick ermittelt.

Messung der Siliziumscheibe und Membrandicke

Die Filmetrics^®-Systeme umfassen Tisch-, Mapping- und Produktionssysteme zur Messung der Dicke von Siliziumscheiben und Membran. Zu den üblicherweise gemessenen Wafermaterialien zählen einfach oder doppelt poliertes Silizium, Saphir, Quarzglas, SiC, LiTaO₃, GaN und Glas.

Unsere technischen Experten können Ihnen helfen, das beste Filmetrics-Tool zu finden, das für Ihre Anforderungen an Schichtdickenmessung geeignet ist. Dazu gehören z. B. die Notwendigkeit verschiedener Dickenbereiche oder eine Einzelpunktmessung im Vergleich zu einem Schichtdciken-Mapping usw.